聚焦离子束(FocusedIonBeam,FIB)是微纳加工、芯片失效分析、微结构科学研究的核心技术装备之一。随着材料、器件的微尺度化(纳米甚至原子尺度)、高集成化(每平方厘米集成10亿个以上的功能单元)、多功能化(在多种外场条件下工作),越来越多的材料微结构研究、器件研发须使用聚焦离子束。全书共分七章,从聚焦离子束的结构原理出发,紧密结合应用与实践,对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述,并配有实际案例进行进一步详解。
本书介绍了高功率激光与固体薄靶相互作用而驱动离子加速的几种物理机制理论的基本物理图像 ,重点探讨如何有效抑制传统光压加速过程中的横向不稳定性,如何延长加速过程,如何提高激光到离子的能量转换效率等;并介绍了预脉冲导致靶材预扩张对离子加速过程的影响等方面的研究。在激光离子加速实验方面 ,本书重点介绍了控制束流传输和靶材制备相关技术。最后,本书介绍了激光离子加速的一些在科学技术研究和实际生活中的重要潜在应用。
本专著主要介绍受控核聚变托卡马克装置真空室、磁体、电源、控制、中性束注入和射频波加热等系统的基本结构、工作原理和设计方法。内容涵盖核聚变、产生核聚变的装置、撕裂模、新经典撕裂模、电阻壁模、边缘局域模及其控制、误差场修正、人工智能在等离子体大破裂和聚变等离子体中数据分析的应用,同时简要介绍了与此相关的国内外主要托卡马克装置的发展概况和研究进展。 本专著适合高校学生、研究生和从事托卡马克工程技术的科研人员以及对受控核聚变研究有兴趣的其他人员学习和参考。