本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法，侧重于介绍混合制程批间控制研究的近期新进展。全书共7章，分为三大部分，一部分针对混合制程的控制问题，阐述了基于JADE、ANOVA、G＆P-EWMA、贝叶斯估计及扩张状态观测器的批间控制理论与设计方法；二部分针对带测量时延的制程控制问题，给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法；三部分结合贝叶斯理论，研究批间控制性能评估方法，并给出批间控制器协同设计策略。本书适合从事离散制造业控制、半导体晶圆加工过程监控、计算机控制、系统工程等研究方向的广大科技人员阅读，也可供高等院校相应专业的师生参考。

前言


1章 批间控制概述


1.1 引言


1.2 批间控制算法


1.2.1 基于静态模型的批间控制器


1.2.2 基于动态模型的批间控制器


1.3 混合制程的批间控制器


1.3.1 线程批间控制算法


1.3.2 非线程批间控制算法


1.4 主要内容


参考文献


2章 混合制程的批间控制


2.1 引言


2.2 混合制程的线程控制模式


2.3 混合制程的非线程控制模式


2.4 基于JADE的批间控制器设计


2.4.1 基于JADE的状态观测器


2.4.2 算例分析


2.5 基于ANOVA的批间控制器设计


2.5.1 基于ANOVA的状态观测器


2.5.2 算例分析


2.6 本章小结


参考文献


3章 G&P-EWMA批间控制


3.1 引言


3.2 G&P-EWMA批间控制


3.2.1 Pb-EWMA批间控制器设计


3.2.2 G&P-EWMA批间控制器设计


3.2.3 G&P-EWMA批间控制器参数优化


3.3 算例分析


3.3.1 数值仿真


3.3.2 工业案例


3.4 本章小结


参考文献


4章 基于贝叶斯估计的批间控制


4.1 引言


4.2 基于贝叶斯估计的状态观测器


4.2.1 贝叶斯估计理论


4.2.2 状态空间模型


4.2.3 状态观测器设计


4.3 算例分析


4.3.1 机台跳变扰动


4.3.2 机台漂移扰动


4.3.3 新旧产品交替


4.3.4 模型不匹配


4.3.5 低频产品


4.3.6 不同扰动下的贝叶斯估计法


4.4 工业数据实例分析


4.5 本章小结


参考文献


5章 基于扩张状态观测器的批间控制


5.1 引言


5.2 基于LESO的批间控制


5.2.1 LESO批间控制器设计


5.2.2 LESO批间控制器稳定性分析


5.2.3 批间控制器的内模控制描述


5.3 基于NLESO的混合制程批间控制


5.3.1 NLESO批间控制器设计


5.3.2 NLESO批间控制器稳定性分析


5.4 算例分析


5.4.1 机台跳变扰动


5.4.2 机台漂移扰动


5.4.3 跳变、漂移和IMA（1，1）模型复合扰动


5.4.4 ARIMA（1，1，1）干扰和模型不匹配复合扰动


5.5 工业数据实例分析


5.6 本章小结


参考文献


6章 带测量时延制程的批间控制器性能分析


6.1 引言


6.2 带固定测量时延制程的批间控制器性能分析


6.3 带时变测量时延制程的批间控制器性能分析


6.3.1 批间控制器稳定性分析


6.3.2 带固定间隔测量时延制程的批间控制器稳定性分析


6.3.3 带随机时变测量时延制程的批间控制器稳定性分析


6.4 带时变随机测量时延制程的批间控制器设计


6.4.1 测量时延概率估计


6.4.2 系统输出静差调整


6.4.3 系统稳定性分析


6.4.4 算例分析


6.5 本章小结


参考文献


7章 批间控制器性能评估方法


7.1 引言


7.2 典型干扰下的批间控制性能分析


7.3 基于参数估计的批间控制性能评估算法


7.3.1 参数估计


7.3.2 性能评估指标


7.3.3 算例分析


7.4 基于贝叶斯后验概率的批间控制性能评估算法


7.4.1 贝叶斯后验概率


7.4.2 贝叶斯性能评估指标


7.4.3 算例分析


7.5 基于贝叶斯性能评估的批间控制器协同设计


7.5.1 批间控制器协同设计方法


7.5.2 算例分析


7.6 本章小结


参考文献