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硅微机械陀螺误差建模理论与方法

硅微机械陀螺误差建模理论与方法

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  • 作者：申强，谢建兵，郝永存，常洪龙，苑伟政
  • 出版时间：2023/3/1
  • ISBN：9787030739490
  • 出 版 社：科学出版社
适用读者:微机电系统工程(MEMS)，传感芯片技术，微型角速率传感器等专业技术领域基础研究及工程应用人员
  • 中图法分类：TH 
  • 页码：232
  • 纸张：
  • 版次：31
  • 开本：B5
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本书共9章，以硅微机械陀螺为研究对象，通过数学物理方程推导微机电系统宏模型，采用对称拓扑设计微机械陀螺结构，制订简单、高效的工艺加工微机械陀螺，根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路，从而阐明硅微机械陀螺误差产生机理，并为减小误差提供研究思路。本书内容新颖，简明扼要。
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