本书是“微机电系统”课程的配套教材，系统介绍了微机电系统的特点及应用前景、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统的组成、微机电系统的设计及测试，重点介绍了适合于微机电系统结构设计的柔顺机构和平面折展机构的分析和设计方法。各章末均附有复习思考题，便于学生掌握所学知识。本书为高等院校机械类专业的本科生教学用书，也可供相关专业的工程技术人员和研究人员参考。……………………………………………………………………………………………………………………

1绪论111微机电系统概述1111微机电系统的定义1112微机电系统的特点1113微机电系统研究的意义212微机电系统的发展概况2121MEMS制造技术4122传感MEMS器件5123生物MEMS器件6124信息MEMS器件6125综合MEMS系统813MEMS与NEMS1314微米尺度及基本效应15141尺度效应15142表面效应16143能源与电、磁、热、光效应18复习思考题182微机电系统的材料1921概述1922结构材料19221硅19222陶瓷2023功能材料20231电致伸缩材料和压电陶瓷202