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多尺度级联场增强金属纳米结构的构筑和性能研究

多尺度级联场增强金属纳米结构的构筑和性能研究

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丛 书 名:清华大学优秀博士学位论文丛书

  • 作者:朱振东
  • 出版时间:2018/12/1
  • ISBN:9787302515050
  • 出 版 社:清华大学出版社
  • 中图法分类:TB383 
  • 页码:128
  • 纸张:
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本文针对两种典型的多尺度体系开展研究,以多尺度结构的低成本、大面积制备为研究重点,以室温纳米压印和多参数刻蚀为主导,研究多尺度结构制备中的若干共性工艺难题,实现了最小关键尺寸的三维金属纳米结构的高质量、稳定可控的制备。
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