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半导体工艺与测试实验

半导体工艺与测试实验

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丛 书 名:中山大学物理学实验系列教程

  • 作者:谢德英 ... [等] 编
  • 出版时间:2015/3/1
  • ISBN:9787030436467
  • 出 版 社:科学出版社
  • 中图法分类:TN305 
  • 页码:182
  • 纸张:胶版纸
  • 版次:1
  • 开本:16K
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  《半导体工艺与测试实验》主要内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验。并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能,着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。
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