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等离子体放电与材料工艺原理(第二版)

 等离子体放电与材料工艺原理(第二版)

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丛 书 名:经典译丛·微电子学

  • 作者:Michael A. Lieberman(迈克尔 A. 力伯曼), Allan J. Lichtenberg(阿伦 J. 里登伯格)
  • 出版时间:2018/1/1
  • ISBN:9787121280221
  • 出 版 社:电子工业出版社
  • 中图法分类:O53 
  • 页码:564
  • 纸张:胶版纸
  • 版次:2
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本书反映了等离子体物理相关领域*的研究进展,深入阐述了等离子体物理和化学的基本原理。书中应用基本理论来分析各种常见等离子体源的放电状态,包括计算等离子体参数及分析等离子体参数与控制参数的相关关系。本书还讨论了半导体材料的刻蚀,薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,具有实际参考价值。全书共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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